填補國內空白（bái），南京這（zhè）家企業用“細致活”助（zhù）力精密加工

光（guāng）刻（kè）機是芯片消費的中心（xīn）設備，光刻（kè）機用的（de）光學石英玻璃及元器件被譽（yù）為“光（guāng）刻之肺”，是光刻機中必不可少的部件。

在嘉定區外岡鎮，一家成立於2018年的年輕企業——晶（jīng）智（上海（hǎi））光學（xué）儀器設備有限公司經（jīng）過持續自主研發（fā）和（hé）創新開辟，不時比照調整、重複迭（dié）代（dài），最終樹立起具有完整自（zì）主學問產權的應力處置模型和工藝數據庫，並運（yùn）用獨有的低（dī）溫（wēn）氫摻雜技術和基於環拋、離子束等多形式組合加工（gōng）工藝，完成光刻石英玻璃元器件的超精細、超潤滑加工，這進一步減少了國內與國外的技術差距，突破了半導體光刻機用光學石（shí）英玻璃（lí）元部件主要依賴進口（kǒu）的（de）現狀。

日前，在晶智的消費車間內，多台超高精度數控加工中心與數控拋光設備（bèi）正滿負（fù）荷運作，操作人員站（zhàn）在一旁親密關注著設備的運轉狀況。企業相關擔任人秦宇洋（yáng）通知記（jì）者，正在加（jiā）工的（de）是用於光刻機的超（chāo）精細（xì）光刻吸盤，也是公司產品目前可（kě）以（yǐ）到達（dá）的最高精度級別。據引見，研發人員將經典拋光、高速拋光和離子（zǐ）束拋光等工藝停止了優化組合，消費出的這批超精細光學元部件的粗糙度低於0.25納米，能極大進步光刻成像質量。秦宇洋說了一個很直觀的比喻：假如把這個元部件放大至整個嘉定區大小，其平麵內最高與最低處尺寸誤差也（yě）不超越1毫米。

“光刻機對曝光載台精度的請求十分高，需求準確到納米（mǐ）級別，位移載台精度一旦呈現問題，製造（zào）的芯片就不能用。”秦宇洋一邊說，一邊拿出了一塊（kuài）直徑約30厘（lí）米（mǐ）、厚度約4厘米的超精細光刻吸盤廢品（pǐn），上麵（miàn）排布著上百個小圓孔和數道牙簽粗細的凹槽。這看似簡單的結構，其（qí）中凝結著多年的技術沉澱和不時的技術改（gǎi）造 。

以前（qián），秦宇洋就職於一家德國企業駐中國辦事處，特地擔任向國內企業供（gòng）給光學石英（yīng）玻璃。“國外公司的業務流程普通是客戶提出訂貨需求，他們接單後開端消費，收貨周期在6個月左右。這樣一來，客戶的時間本錢增加，項目進度受影（yǐng）響，同時由於國內加工工藝受限，企業的（de）消費本錢也（yě）不斷居高（gāo）不（bú）下。”秦宇洋說，為了（le）縮短交（jiāo）貨時間、降低交貨風險，2018年 ，他和幾位合夥人一同創建（jiàn）了晶智公司。起初，他（tā）們（men）隻是對國外進口的原資料停止粗加工之後（hòu）供給給客戶，隨著企（qǐ）業在光刻機用高平均性石英資料上的研發才能和加工工藝（yì）不時提升，他們逐（zhú）漸開端為（wéi）下遊光刻企業（yè）提供高精細元器件的“定製效勞”。

如何打破常規的製造工藝？秦宇（yǔ）洋率領團隊設計工裝模具，改造加工設備，對工藝參（cān）數不時停止總結（jié）。“我們用（yòng）了近2年時間，終於完成了（le）加工光學元件外表粗糙度低於1.25納米，但此前不斷停留在研發階段。”秦（qín）宇洋引見。桌麵上（shàng）這款最新款的超（chāo）精細光刻吸盤，正是從實驗數據走（zǒu）向產品量產的一大步。“可（kě）別小看這一塊吸盤，上麵的孔大了漏氣，小了吸力不夠（gòu），最終廢品既要保證（zhèng）吸得住矽片（piàn），又要不（bú）產生絲毫磨損，前（qián）後實驗了六批產品，才將應力處（chù）置模型、工藝數據和實踐消費圓滿分離，將呈現問題的概率降至最低。”記者理解到，公司首（shǒu）批上線的8件資料，經過2周的（de）工期後，下線時（shí）卻隻勝利了1件，其（qí）他7塊全部報廢，這可急壞了研發團隊。要曉（xiǎo）得，每塊原資料的價錢從幾萬到幾十萬不等，宏大的（de）試錯本錢給團隊帶來了不少壓力。經過研發（fā）團隊和操作人員重複複盤、梳理、總結，最終在第（dì）六批產品下線時（shí）完成了零破損。   

除了（le）加工精度不時（shí）提升外，怎樣降低資料加工和運用（yòng）過程中崩裂的風險，企業也有“獨門秘（mì）籍（jí）”。記（jì）者（zhě）在現場看到，每塊原資料在完成（chéng）第一道工序——切割後，都會（huì）浸泡在一種特製的緩（huǎn）衝溶液中（zhōng），經（jīng）過重複處置再送上精加工工作台。秦宇洋說：“光學玻璃是（shì）脆（cuì）性資料，粗加工後（hòu）邊緣會呈現（xiàn）肉（ròu）眼不可見的裂痕，假如聽任不論，就會增加精加工時（shí）的崩裂風險。”針對這樣的問題，研發團隊自主研發（fā）了納米粘結劑，這種粘結劑既要能很好（hǎo）地（dì）浸透進裂痕，又要具備強勁的拉力，足以牢牢“扯住（zhù）”裂痕，阻止玻璃裂痕繼續生長，保證玻璃精加工時堅持（chí）穩定、不碎裂（liè）。“目前國內可以做到這個水平的，隻要我們一家。”秦宇洋驕傲地說。

據悉，晶智公司目前可以完成高精細石英資料的去應力處置，應力雙折射小於2納米/厘米，產品已逐（zhú）漸完成量產，遭到不（bú）少科研單位的喜愛。2022年，晶（jīng）智公司年產值達3億元，和2021年相（xiàng）比翻（fān）了一番（fān）。