隨著科學技術的日益進步，超精密加工（gōng）技術也得到了飛速發展（zhǎn），具有複雜麵型的微（wēi）結（jié）構元件被廣泛地應（yīng）用於軍事、高科技裝備、光纖通（tōng）訊等諸多領（lǐng）域。這類元件結構（gòu）複雜，並且加（jiā）工精度要求（qiú）很高，用傳統的加工方法已很難滿足加（jiā）工需求。隨著技術的不斷進步，湧現（xiàn）出很多種超精密（mì）加工方法，能夠加工出滿足（zú）需求的微結構（gòu）表麵，如光刻蝕加工（gōng）、微細磨削加工、激光加工、快刀伺服等。這些方法都有各自的優缺點（diǎn），其中快刀伺（sì）服是比較經典（diǎn）的超精密加工技術，是微結構車削加工研究的熱點之一。
快刀伺服加工是指在車削加工過程（chéng）中，借助與安裝在Z軸上的快刀伺服微進給機構（gòu）驅動（dòng）刀（dāo）具作高頻響、小幅值的軸向（xiàng）快速進給運動，並與高精度的（de）回軸和徑向進給相配合，完成這個車削（xuē）加工過程。與（yǔ）Z軸一般（bān）幾（jǐ）十赫茲的進刀頻率相比，快刀伺服微進給機構的進刀頻（pín）率（lǜ）可以達到幾千赫茲甚至更高，從而大大提高了加（jiā）工效率。
與其它超精密加工方式相比（bǐ），快（kuài）刀（dāo）伺服車削加工（gōng）技術具有高頻響、高效率的特點，一次加（jiā）工就（jiù）能夠得到高（gāo）麵型精（jīng）度的複（fù）雜微結構表麵，適用於光學元件等微結構元件（jiàn）的高效優（yōu）質加工。
快刀伺服（fú）車削加工要求高頻響、高精度（dù）的微進給，目前微進給機構的驅動（dòng）方式主（zhǔ）要以壓電陶瓷驅動。壓電陶瓷（cí）驅動的快刀伺服具有響應速度快、加速度高、頻響範圍寬、易（yì）於控製等諸多優（yōu）點（diǎn）。
快刀伺服（fú）微進給機構是快刀伺服加工係（xì）統中非常重要的（de）部件，作為高速高精度位移輸出機構（gòu），其性能的好壞對快刀伺服加（jiā）工的微結構表麵質量（liàng）有直接影響（xiǎng）。芯明（míng）天科技設（shè）計研發的P92、P93係列壓電快（kuài）速刀具定位器，具有承載力大、響應（yīng）速度快、頻率範圍（wéi）寬、納米級精度的優點，是快刀伺（sì）服的（de）首選產品。
芯明天壓電快刀定（dìng）位器
芯明天具有近20種專為（wéi）快刀伺服微（wēi）加工（gōng）而設計的快（kuài）速刀具定位台，它們有著位移、頻率、閉環方式、出力、驅動電壓、外觀結構等性能的差別。
在（zài）位移參（cān）數上，由十幾微米（mǐ）到百微米以上（shàng）的行程範圍，不同的位移下工作頻率也不（bú）同。
例如，芯明天P92.X20S快速刀具（jù）定位（wèi）台，在18μm行（háng）程下，工作頻率可達95Hz；在9μm行程下，工（gōng）作頻率可達（dá）190Hz；而在1μm行程下，工作頻率達600Hz。
芯明天壓電快速刀具定位台有多種閉環方式可選，如電容式、電感式、應變式閉環，也可采用外部閉環的控製方式。閉環方式的不同影響著（zhe）快速刀具定（dìng）位台（tái）的控（kòng）製精度、工作頻率及成本等因素。
P92.X20係列快速（sù）刀具定位台
行程：18μm
驅動電（diàn）壓：0~150V
承載能力：300g
閉環方式可選（xuǎn）
P92.X25係列快速刀具定位台
行程：23μm
空載諧頻頻率：3000Hz
出力：1000N
閉環方式可選
P92.X40係（xì）列快速刀具定位台
行（háng）程：40μm
驅動電壓：0~1000V
出力：3000N
定製散熱孔
P92.X70係列快速刀具定位（wèi）台
行程（chéng）：75μm
定位精度：0.01%F.S.
定製防塵（chén）防液滴型
閉環方式可選（xuǎn）
P93.X70係列快（kuài）速（sù）刀具定位（wèi）台
行程：81μm
承載能力：20kg
分辨率：達3nm
閉環方式可選
芯（xīn）明天快速刀具定位台應用案例
導光板（bǎn）加工；
光學元件車削加工；
P93快刀台與手調台結合（hé）超精密（mì）加工；
定製散（sàn）熱裝置的快速刀具（jù）定位台。
