淺聊半導體行業超精密加工
　　伴隨中國半導（dǎo）體設備的發展，對於我們的（de）加工要求越來越高，過去我們加工0.01mm的精度已經非常難了，但現在出現了很多零（líng）件（jiàn）加工，精度動不動要求幾個um，在這種情況下很多時候，我們靠普通設備，隻能通過人員的技術水平和經驗（yàn），做出來，但很難進行穩定生產。也有很多朋友和客戶在向老（lǎo）易谘詢半導體（tǐ）行業的加工，怎麽樣滿足半導（dǎo）體行業零（líng）件的超高精度要求。在這（zhè）裏麵（miàn）老易（yì）淺談一下半導體的超精（jīng）密加工（gōng）。
　　我們今天從人機料法環測六個（gè）維（wéi）度分析，首（shǒu）先聲明老易本人對於半導體行業接觸也不是特點多（duō），更多的是通過收集一些公共信息（xī）和對於一些加工認知寫的，對的大家點個（gè）讚轉發，錯的大家私聊老易，給老易指出來。
　　機：對於超精密加工來說，首先（xiān）最重要的一定是（shì）機了（le）。裝備不行，我們水平再（zài）高也是巧婦難為無米之炊。所以設備非常重（chóng）要，這裏麵的設備老易（yì）在網上找到了一個我也認為比較公正的文章。作為參考。這些設備應該都是半導體行業的超精密加工的設備。這些設（shè）備順序不是排位，隻是老易想（xiǎng）到那就寫到那裏（lǐ）。
　　1.Mikron Mill P係列品（pǐn）牌+GF+這裏麵包括P係列的三軸機（jī）和P係列的五（wǔ）軸（zhóu）機。在24小時甚至更長加工（gōng）時間中，為確（què）保加（jiā）工工件達到優於5微米的高精度，機床則需要達到更（gèng）高的精密（mì）性。采用高剛性（xìng）、溫度穩定的（de）床身設計有效控製機床加工時（shí）的溫度和溫度變化，確保工件在長（zhǎng）時間加工中變化（huà）小於（yú）±3µm。同時該品牌的（de）五軸機的轉台，有使用老易代理的德國派士樂五（wǔ）軸轉台。
　　2.德國羅德斯品牌：roeders 200年曆史企業，家（jiā）族6代企業傳（chuán）承，主要以超精（jīng）密模具為主（zhǔ）。大理石床身搭（dā）配（pèi）直線（xiàn）電機和自（zì）己（jǐ）獨有的控製（zhì）係統，加（jiā）工效率極高。羅德斯在歐洲為高速機之王，該（gāi）設備在模具行業擁有大量的客戶。
　　3.瑞士菲爾曼機床品牌FEHLMANN 1930年的家族企業，發展戰（zhàn）略以“專、細”為方向，為保證產（chǎn）品品質機床幾乎所有環節（含主軸）都是以自己生產、研發、組裝為主。
　　4.德國科恩微精（jīng）技術有限公司（sī）品牌：KERN獨特大理石床身搭（dā）配靜（jìng）浮導軌及直線電機，保證機床定位精度2um，重（chóng）複定位精度1um。這個（gè）設備實際上在華南使用不多，但在華南的一個超級大廠裏麵有很多。
　　5.德國艾格索品牌exeron德（dé）國艾格索品牌以從模具放電及高端銑削為主。產品設計大膽前衛（wèi），床身采用高（gāo）強度（dù）大理石龍門結構，大理石床身，線電機驅（qū）動完美機械力學性能，使加工工件達到最高精度和（hé）表麵質量要求。另外這家公司的五軸機（jī）使用的轉台，就是老易（yì）代理的德國派士（shì）樂的（de）。
　　6.牧野iQ係列品（pǐn）牌（pái）：makino iQ係列精密設備采用了先（xiān）進的直線（xiàn）電（diàn）機設計（jì），0.005微米級光柵尺（chǐ）反饋和無與倫比的元器件溫度控製。主軸：45000，為了確保使用不同刀具到達不同的加工表麵質（zhì）量的匹配性，iQ3係列機床集成了專有的牧野混合自動刀具長度測量係統（HyATLM），確保滿足各種項目的需求！
　　7.日本雅司達（亞斯達）品牌：YASDA亞（yà）斯達開發了（le）YMC430微中心，消（xiāo）除了滾（gǔn）珠主軸並采用了直線電機。定位精度為0.1微米適用（yòng）工件：光學模具、透鏡模具、電池油（yóu）料分離器模（mó）具、連接器模具、醫用（yòng）模具、衝頭模具、塑料或矽膠模具、齒輪、透鏡用小型模架等。部分（fèn）型號禁售中國
　　8.日本東芝UVM-450C品牌：toshiba東芝高速精密（mì）加工中心裝載（zǎi）空氣靜壓主軸，0.01μm的（de）高（gāo）精度進給結構，0.002μm高分解能力的直線光柵尺、高精度直（zhí）線導軌和直線電驅動控製技術，是專門為（wéi）光（guāng）學配件加工機，半導體關聯備件精密加工，超精密加工及其它，中小型（xíng）液晶顯示器用導光板模具加工
　　9.日本碌碌微細加工機床（chuáng）品牌：ROKU-ROKU日本碌碌以“加工（gōng）藝術家”為著稱，在日本也稱機（jī）王。多用（yòng）於半導體、芯片等微（wēi）孔、石墨等超精密加工。
　　10.日本希（xī）村（cūn）品（pǐn）牌HopHet希村超精密細微（wēi）加工中心是1972年日本隱形冠軍株式會社（shè）打造的品牌。機身采用水循環冷卻結構大理石床身、三軸匹配直線電機，42000高轉速，工件加工精度一（yī）直穩定2um，主要以半導體、光學模具行業為主。
　　除了上麵這10家外，我們的（de）國（guó）內的設備也開始在超精密加工方麵（miàn）在進步和（hé）突破，如深圳朗恩精密的設備，也（yě）在超精密（mì）加工方麵取得（dé）了突破（pò）。當然還有很多（duō）品牌也都在超精密（mì）加工領域（yù）裏麵有建樹（shù），這裏麵老易就不一（yī）一講（jiǎng）述。但不管怎麽樣，目前這些全球超精（jīng）度的設備一般采用以下技術：
　　1.床身采用大理石床身技術，礦（kuàng）物鑄件（jiàn）的剛性，礦物鑄件的吸震性，礦物鑄件的（de）熱穩定（dìng）性（xìng）。
　　2.采用（yòng）直線電機，直線電機最大特點是其沒有間隙，因此可以獲得更高的運動精度。
　　3.采（cǎi）用大量的冷卻技術，解決溫度對於機床部件的影響，不管是（shì）鑄鐵還是（shì）我們的大理石本質都會（huì）有變化，隻是大與小的問題（tí）。
　　4.采用高精度的光柵，一定是全閉環的。而且精度級別高於更多通用的級（jí）別。
　　環：這個（gè）是指我們的加工環（huán）境，環（huán）境就包括溫度、濕度、潔淨度、振動等（děng）等。
　　第一個是溫度。
　　對於我們的設備（bèi）的使用環境都（dōu）是有嚴格（gé）要求的，老易曾經前（qián）往（wǎng）一超精密車間，車間裏麵就有裏麵的米克朗設（shè）備和科恩設備，其設備都是放置在單（dān）獨的恒溫單元，並且采用（yòng）了雙玻璃。高精度設備除了自身的溫度控製（zhì）外，加工環境要求更高。
　　第二個是地基
　　我們很多企業會忽視對於地基（jī）的要求，老易（yì）同樣參觀過一家采購了德國的高精度設（shè）備（bèi），其（qí）為了給這台設備做地基，都用了幾（jǐ）個月，為什（shí）麽幾個月呢，因為之前做出來的地基沒有達到要求，造成（chéng）了重作。對於地基不僅僅是承載能力、拉伸能力，還有（yǒu）隔振能力，需要將外部振動的隔斷（duàn）設備地基外。
　　法：這（zhè）個就是我們的工藝了。
　　當我們的（de）設備選擇了，環境溫度也控製好了，地基也嚴格按（àn）照了設備（bèi）廠家要求，這個時（shí）候就（jiù）是加工工藝（yì）了。實際上所有的高（gāo）精（jīng）度的產品加工時候，都不可以一次做好，都是需要很多次的加工和熱處理，這個過程是為了（le）將加工過程的材料變化（huà），降到最低。所以如果您要做高精（jīng）度的產品，一定要找到（dào）懂（dǒng）從事高精度產品加工（gōng）的工藝人員。
　　測：就是我們（men）的測量。
　　對於我們超精密加工時候，如果我們都沒有辦法測出來時候，那麽我們怎麽知道我們的是否合格，或者怎麽優化。而這個測的級別就比（bǐ）我們的加（jiā）工設備會更高。至少需要高一個級別，我們才（cái）有可能測（cè）出來（lái）的。而我們的測量的設備更需要（yào）考（kǎo）慮前麵講的（de）環境。
　　上麵我們講了機、環、法、測這個四個維度（dù），另外的人和料同樣也會製約我們（men）是否能（néng）夠保（bǎo）證達到精度，當然在料的（de）方麵，更多時候是客戶指定出來的。我們必須嚴格按照要求進行。當我（wǒ）們的加工精度上（shàng）到這個級別時（shí）候，可以每個要素都是需要錢的。要打造一個超精密加工，實際上需（xū）要用（yòng）錢堆出來。