大矢高微透（tòu）鏡陣（zhèn）列加工方法，超精密微（wēi）透鏡陣列切削加工
　　超精密微透鏡切削加工工藝是微透（tòu）鏡陣列加工的一種技（jì）術，接近於微透鏡陣列光學冷加（jiā）工。主要用於大（dà）矢高微透鏡陣列，大數值孔徑微（wēi）透鏡陣列，大（dà）角（jiǎo）度微透鏡（jìng）陣列的加工製造。區別於光刻膠熱熔法，台階刻蝕法（fǎ）和激光直寫法等技（jì）術，微透鏡超精密切削（xuē）加工技（jì）術能夠加工（gōng）更精細的光學器（qì）件（jiàn），加工（gōng）得到的微透鏡麵形精度和表麵質量高，自由（yóu）曲麵微結構（gòu）加工（gōng）可行（háng）性得到保證。用（yòng）微透（tòu）鏡超精密（mì）切削加工技術我司能做到的微透鏡陣（zhèn）列矢高範圍為250nm-4mm，子單元口徑80μm-30mm，麵形誤差和ROC誤差為±0.5%，表（biǎo）麵（miàn）粗糙度局部能夠（gòu）達到2-5nm，鏡片尺寸誤差達到±0.1mm。由此可見微透鏡超精密（mì）切削加工（gōng）的精度優勢。許多大矢高的快慢軸準直鏡便是（shì）用這種工藝製造的。圖片
　　目前（qián）超（chāo）精密微透鏡切削加工工藝主要有三種（zhǒng），微銑刀銑削加工，慢（màn）刀進給伺服（fú）車（chē）削加工（STS）以及快刀伺服進給（gěi）車削加工（FTS）。微銑刀銑削加工常使用多軸（zhóu）超精密銑床（chuáng），采用球頭微銑刀保證加工（gōng）質量。STS加工（gōng）及（jí）FTS加工常用刀具為單點金剛（gāng）石刀具。不（bú）同在於STS是利（lì）用C,X,Z三（sān）軸（zhóu）聯動帶動刀具在（zài）工件圓柱坐標係內完成空間三維軌跡的創成運動；FTS車削加工通過設計高（gāo）頻（pín）響、高精度的刀（dāo）具驅動裝置，在主軸角度及X軸導軌反饋的基礎上，控製刀具在主軸方向上實時跟蹤工件麵形的變化。用微透鏡陣列超精密切削加工切削技術暨微（wēi）透鏡（jìng）陣列（liè）光學冷加（jiā）工技術加工出來的大矢高微透鏡（jìng）陣列，大數值孔徑（jìng）微透鏡陣（zhèn）列和大角度微透鏡陣列可以統稱為刀具法（fǎ）微透鏡陣列（liè）。圖片平（píng）麵（miàn）刀具法微透鏡陣列光學冷加工的工藝過程：（1）將工件定位及裝夾，選用聚晶金剛石刀（dāo）具並快速對（duì）刀；（2）用聚晶金剛石刀具加工基麵；（3）用聚（jù）晶金剛石刀具初步（bù）微（wēi）透鏡陣列加工，加工（gōng）出工件形狀；（4）選（xuǎn）用單晶（jīng）金剛石刀具快速（sù）對刀後進行精加工，采用較低（dī）進給量率微量切削，得到良好的表麵質量。
　　而曲麵刀具（jù）法微透鏡陣列光學冷加工的加工規劃除第（dì）二步是用聚晶刀加工（gōng）基曲麵外，其他（tā）均與平麵刀具法微（wēi）透鏡陣列光學冷加工工藝規劃相似。圖片（piàn）以上便是微透鏡陣列光學冷加工技術，超精（jīng）密微透鏡切削加工工藝的簡介。我司新產品MLA1刀具法微透鏡陣列所應用（yòng）的就是（shì）微透鏡超精密（mì）切削加工技（jì）術，以此來製造的大矢高（gāo）微透鏡陣列，大角度微透（tòu）鏡陣列，大數值孔徑微透鏡陣列的麵形精度和麵形質量極高。歡迎您谘詢了（le）解。參考文（wén）獻：[1]徐禮威.微透鏡陣列超精密切削加工技術研究[D].哈爾濱工業大學,2015.
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